Die Halbleiterindustrie verlangt, dass die Reinheit der verwendeten Graphitmaterialien so hoch wie möglich ist. Graphitiert bei hohen Temperaturen, um den Aschehalt . zu minimieren
Die Halbleiterindustrie verlangt, dass die verwendeten Graphitmaterialien eine feine Partikelgröße aufweisen. . Graphit mit einer feinen Partikelgröße ist nicht nur leicht zu hohen Genauigkeit, sondern hat auch eine hohe Hochtemperaturstärke und einen niedrigen Verlust {., insbesondere die für die Sintering verwendeten Formen. stirbt) müssen wiederholte Heizungs- und Kühlprozesse standhalten.
Graphite made from uncalcined petroleum coke is a fine-grained structural material with high mechanical strength. It can be used to make electronic technical products, such as crucibles, thin plates, discs, heat shields for vacuum furnaces and high-frequency electric furnaces, graphite dishes for melting pure metals, grippers (chucks) for high-temperature experimental devices, hot press molds, and Filter . Dieses Material kann in einer inerten oder schützenden Atmosphäre bei Temperaturen unter 2500 Grad . verwendet werden
Ultra-Pure-hochfestes Graphit mit einer Schutzschicht wird durch Reinigen und Entgasung gewöhnlicher feinstrukturierter Graphit in einem Vakuum hergestellt, gefolgt von der dichte dichteverstärkenden Behandlung mit pyrolytischem Kohlenstoff . ihre Produkte (Heizungen, Scheiben, Graphiten usw..}) können verwendet werden, um Silicon-Dünnfilme mit dem Gasballen zu prüfen), um Silicon-Dünnfilme zu prepieren, um Silicon-Dünnfrise zu preparieren, um mit dem Gas zu prüfen, dass Silicon-Dünnfilme mit dem Gasballen zu prüfen, dass Silicon-Dünnfilme mit dem Gasballen zu preparialen, mit dem Gasballen zu preparialen Schaltfilmen verwendet werden können, um Silicon-Dünnfilme zu prüfen. Methode . Die Dicke der durch pyrolytischen Kohlenstoff gebildeten Dichteverstärkungsschicht überschreitet 2 mm . Eine dünne Schicht aus pyrolytischem Graphit mit einer Dicke von nicht mehr als 0 {{12} 1 mm kann auch auf der Oberfläche des Dens eingelagert werden.